8742型BURKERT質(zhì)量流量控制器參數(shù)
標(biāo)稱流量范圍：0.010 lN/min 至 80 lN/min

測(cè)量精度和重復(fù)性高

防護(hù)等級(jí) IP65

基于 CANopen 的現(xiàn)場(chǎng)總線通信能力

可選：ATEX II 類別 3G/D

8742型BURKERT質(zhì)量流量控制器用于對(duì)于氣體或者液體的質(zhì)量流量進(jìn)行精密測(cè)量和控制。擴(kuò)散，氧化，分子束外延，CVD，等離子刻蝕，濺射，離子注入，以及真空鍍膜設(shè)備，光纖熔煉，微反應(yīng)裝置，混氣配氣系統(tǒng)，毛細(xì)管測(cè)量氣象色譜儀，光導(dǎo)纖維制造設(shè)備中。并廣泛用于石油化工。冶金，制藥等。特點(diǎn)：精度高，重復(fù)性好。

8742型BURKERT質(zhì)量流量控制器/測(cè)量儀設(shè)計(jì)用于 büS 或 CANopen 通訊。büS 網(wǎng)絡(luò)技術(shù)以 CAN 物理設(shè)施為基礎(chǔ)，是 Bürkert 專門針對(duì)具有多個(gè)控制段，通過工業(yè)以太網(wǎng)或其他現(xiàn)場(chǎng)總線運(yùn)行的應(yīng)用而開發(fā)出的技術(shù)。與 ME2X 型系統(tǒng)控制單元 (SCU,System Control Unit) 組合使用，可以將信息傳輸給客戶的現(xiàn)場(chǎng)總線，從而實(shí)現(xiàn)以 CANopen 為基礎(chǔ)的通信。質(zhì)量流量控制器 (MFC)/ 質(zhì)量流量計(jì)(MFM) 可以隨時(shí)在 büS 和 CANopen 通信之間切換。因此，8742 型設(shè)備可以直接集成到現(xiàn)有的 CANopen 網(wǎng)絡(luò)中。8742 型設(shè)備可以根據(jù)需要配置為 MFM 或 MFC?？梢葬槍?duì)兩種不同的氣體進(jìn)行校準(zhǔn)。熱式 MEMS 傳感器直接位于氣流中，反應(yīng)速度極快。Bürkert 生產(chǎn)的直動(dòng)式比例閥具有*的響應(yīng)靈敏度。集成 PI 控制器，令 MFC 具備的控制特性。防護(hù)等級(jí)和防爆等級(jí)高，使得8742型BURKERT質(zhì)量流量控制器尤其適用于惡劣的應(yīng)用環(huán)境。